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扫描电 镜等离子清洗机

简要描述:CIF 扫描电镜(SEM)等离子 清洗机采用远程、原位双 等离子清洗源设计,并可自动切换,一机多用。远程等 离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可 实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜 腔体内碳氢化合物的清洗。

  • 产品型号:CIF-SEM
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-04-28
  • 访  问  量:430

详细介绍

品牌CIF产地类别国产
应用领域医疗卫生,环保,生物产业,地矿,能源

CIF 扫描电镜(SEM)等离子 清洗机采用远程、原位双 等离子清洗源设计,并可自动切换,一机多用。远程等 离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可 实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜 腔体内碳氢化合物的清洗。

 

产品特点

双等离子清洗源

一机多用

高效低损伤

 

技术参数

产品型号

CIF-SEM

法兰接口

KF40

工作气压

0.3-3Pa

等离子电源

13.56MHz射频电源,射频功率5-100W可调,自动匹配器

气体控制

标配双路50毫升/分气体 质量流量控制器(MFC),精确测 量自动控制气体流量,不会受 环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求可选择氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源

真空控制

美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计,测量范围1E-5Torr

真空保证

真空计 和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面

电源/功率

220V,50/60Hz,300W

可选配件

可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min 

质量保证

二年质保,终身维护

 

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